光学薄膜的市场调研报告

光学薄膜的市场调研报告 1光学薄膜的制备技术 1.1物理气相学沉积（PVD） 1）热蒸发 光学薄膜器件主要采用真空环境下的热蒸发方法制造，此方法简单、经济、操作

光学薄膜的市场调研报告 1光学薄膜的制备技术 1.1物理气相学沉积（PVD） 1）热蒸发 光学薄膜器件主要采用真空环境下的热蒸发方法制造，此方法 简单、经济、操作方便。尽管光学薄膜制备技术得到长足发展，但是 真空热蒸发依然是最主要的沉积手段，当然热蒸发技术本身也随着科 学技术的发展与时俱进。 2）溅射 溅射指用高速正离子轰击膜料（靶）表面，通过动量传递，使 其分子或原子获得足够的动能面从靶表而逸出（溅射），在被镀件表 面凝聚成膜。其膜层附着力强，纯度高，可同时溅射多种不同成分的 合金膜或化合物。 3）离子镀 离子镀兼有热蒸发的高成膜速率和溅射高能离子轰击获得致密 膜层的双优效果，离子镀膜层附着力强、致密，离子镀常见类型：蒸 发源和离化方式。 4）离子辅助镀 在热蒸发镀膜技术中增设离子发生器――离子源，产生离子束， 在热蒸发进行的同时，用离子束轰击正在生长的膜层，形成致密均匀 结构（聚集密度接近于1），使膜层的稳定性提光学薄膜制备技术高， 达到改善膜层光学和机械性能。