表面微型质谱仪

表面微结构/微型质谱仪加工应用摘要。本文提出的概念及处理的一个微型质谱仪,尺寸约只有几厘米3。其制造是基于技术中使用细致的处理和在特别的各向异性腐蚀,薄膜沉积、电镀、和阳极键合。质谱仪的由一个等离子体