一种用于MEMS超低值封装残余应力的测量方法

一种用于MEMS超低值封装残余应力的测量方法摘要MEMS技术的发展使得许多微型器件得到了广泛的应用。然而，在生产中存在残余应力的问题，这可能会导致MEMS设备的性能下降甚至失效。因此，开发一种有效的封