DRIE工艺中等离子体的建模与仿真研究的综述报告

DRIE工艺中等离子体的建模与仿真研究的综述报告DRIE工艺，即深刻离子刻蚀加工技术，是一种先进的微米加工技术，可用于制造微纳电子器件、MEMS器件等。DRIE工艺的基本原理是利用等离子体对材料进行离