EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法

EBL制备用于气体传感器的SAW延迟线的方法气体传感器作为一种透过检测目标气体中的特点物质从而实现干预的设备，被广泛应用于环境监测、安全控制等领域。对于高性能的气体传感器而言，SAW (surface