基于MEMS的色谱柱及氦离子化检测器研究

基于MEMS的色谱柱及氦离子化检测器研究基于MEMS的色谱柱及氦离子化检测器研究摘要：随着科技的不断发展，微电子机械系统（MEMS）在科学研究和工程领域的应用日趋广泛。本文主要研究了利用MEMS技术来