基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光

基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光基于触媒原理的CVD金刚石薄膜抛光摘要：金刚石薄膜具有优异的物理、化学和力学性能，因此在各种应用领域都具有广泛的潜力。然而，金刚石薄膜的加工和抛光过程对其性能至关重要