MEMS麦克风的失效机理及失效分析

MEMS麦克风的失效机理及失效分析MEMS麦克风是一种主流的电容式麦克风，在各种数字化设备中被广泛应用，如手机、平板电脑、数码相机等。然而，由于MEMS麦克风是由微型机械加工技术制成的，其可靠性相比传