微机电系统技术(MEMS)结合机械

主旨微機電系統技術（MEMS）結合機械、電機、電子、光電、通訊、材料、控制、化學、生醫等整合性技術，利用微小化科技提升產品性能、品質及附加價值，並降低製造成本。延續微電子技術革命，在二十一世紀帶來輕、