气相沉积综述

气相沉积技术研究现状及应用任 强，吴玉萍（河海大学，南京）摘要:本文主要阐述了气相沉积技术的研究现状，介绍了化学气相沉积技术和物理气相沉积技术，分析并展望了其未来的发展趋势。关键词：材料表面工程；气相