多微通道式气体静压节流器阶跃响应特性的测试研究

多微通道式气体静压节流器阶跃响应特性的测试研究多微通道式气体静压节流器是一种常用的流量控制装置，在工业生产过程中具有广泛的应用。了解多微通道式气体静压节流器的阶跃响应特性对于优化系统设计、改进控制方法