集成电路工艺原理(芯片制造)课程试题库

一、填空题（30分=1分*30）10题/章晶圆制备用来做芯片的高纯硅被称为（ 半导体级硅 ），英文简称（ GSG ），有时也被称为（ 电子级硅 ）。单晶硅生长常用（ CZ法 ）和（ 区熔