金属钨高深宽比刻蚀工艺基础研究的开题报告

金属钨高深宽比刻蚀工艺基础研究的开题报告一、研究背景与意义钨是一种非常重要的金属材料，它具有高熔点、高硬度和高密度等优异的物理和化学性质，被广泛应用于半导体、航空、航天和核能等领域。其中，在半导体制造