《微细加工扩散》PPT课件

- 第 3 章 扩 散 - “扩散” 是一种基本的掺杂技术。通过扩散可将一定种类和数量的杂质掺入硅片或其它晶体中，以改变其电学性质。掺杂可形成 PN 结、双极晶体