多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用(二)

多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用(二)多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用摘要：随着微电子技术和纳米科技的快速发展，微型传感器在各个领域中的应用越来越广泛。而多孔硅微细加工作为一种重要的制备方