气浮垫的研抛工艺及研抛机结构设计

气浮垫的研抛工艺及研抛机结构设计摘要随着精密、超精密技术的发展日益进步,机器及检测仪器等的精度要求越来越高,对气浮垫的制造精度也提出更高的要求。目前,由于气浮垫精密加工技术的研究还不够深入,因此,研究