《集成电路汇总》word版

集成电路：把多个器件及其间的连线同时制作在一个芯片上，形成一块__的、具有一定功能的整体电路。特征尺寸：芯片上光刻图形最小节距的一半，即最小半节距。外延生长：在单晶衬底的表面上淀积原子，并与衬底晶体的