不同非平衡度磁场环境中溅射等离子体的诊断与分析

不同非平衡度磁场环境中溅射等离子体的诊断与分析随着技术的不断发展和进步，等离子体技术在各个领域中得到了广泛应用。随之而来的是对等离子体的诊断与分析的需求。在非平衡度磁场环境中，溅射等离子体的诊断与分析