热蒸发SiOx在氮化镓高电子迁移率晶体管中的应用研究的任务书

热蒸发SiOx在氮化镓高电子迁移率晶体管中的应用研究的任务书任务书课题名称：热蒸发SiOx在氮化镓高电子迁移率晶体管中的应用研究课题背景：氮化镓高电子迁移率晶体管（High Electron Mobi