一种无衍射光莫尔条纹的计数方法

一种无衍射光莫尔条纹的计数方法无衍射光莫尔条纹计数方法研究摘要本文介绍了一种无衍射光莫尔条纹计数方法,它可以用于薄膜表面形貌测量、精密位置控制和光学元件表面检测等领域。该方法基于两个相邻面反射光的干涉

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