低介电常数材料论文--低介电常数材料的特点、分类及应用

低介电常数材料的特点、分类及应用胡扬 摘要: 本文先介绍了低介电常数材料(Low k Materials)的特点、分类及其在集成电路工艺中的应用。指出了应用低介电常数材料的必然性,举例说明了低介电

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