（nasiri fabrication）——晶圆片规模的封装、mems晶圆片跟cmos晶

一种新的MEMS加工技术——纳西里技术（Nasiri Fabrication）——晶圆片规模的封装、MEMS晶圆片跟CMOS晶圆片直接粘接的技术　 许多MEMS公司和新公司都想进入陀螺仪（gyrosc