MEMS螺线管型电感器正负胶结合加工工艺

万方数据第2期 微细加工技术 文章编号：1003—8213(2002)02．0053—05 (上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心，上海200030) 关键词：微机电系统；电感器；SU一8