激光化学气相淀积金刚石薄膜的气相反应过程研究

激光化学气相淀积金刚石薄膜的气相反应过程研究激光化学气相淀积金刚石薄膜的气相反应过程研究摘要：金刚石是世界上最硬的材料之一，在很多领域都有广泛的应用。激光化学气相淀积技术是一种制备金刚石薄膜的重要方法