MEMS非线性分析的局部Petrov-Galerkin法

MEMS非线性分析的局部Petrov-Galerkin法MEMS是微型机电系统的缩写，是在微电子技术、微加工技术和微机械技术的基础上发展起来的一种新型微型机械电子系统。MEMS在生产制造工艺、尺寸大小