超硬材料薄膜涂层研究进展及应用

超硬材料薄膜涂层研究进展及应用 关键词：超硬材料薄膜；研究进展；工业化应用1超硬薄膜 超硬薄膜是指维氏硬度在40GPa以上的硬质薄膜。不久以前还只有金刚石膜和立方氮化硼(c-BN)薄膜能够