SOI技术的应用

SOI技术的应用阮雄飞 09电科 2009118216摘要：SOI即绝缘衬底上的硅，也称为绝缘体上的硅。SOI技术是在顶层硅和背衬底之间引入了一层埋氧化层，是一种具有独特的“Si/绝缘层/