激光干涉法测量微位移的设计课程设计论文

激光干涉法测量微位移的设计 位移的量值范围差异很大（在制造工业中nm-μm-mm 直至数十米；秒分度以下或几度至几十度），检测可以是接触式或非接触式，加之对检测准确度、分辨力、使用条件等要求不同