低损耗光学薄膜的反应磁控溅射工艺探索及机理研究的综述报告

低损耗光学薄膜的反应磁控溅射工艺探索及机理研究的综述报告近年来，随着光学设备的广泛应用和发展，低损耗光学薄膜的研究和开发成为了一个重要的研究方向。磁控溅射技术是一种常用的制备光学薄膜的工艺，其优势在于