氮化镓光电化学刻蚀技术研究的任务书

氮化镓光电化学刻蚀技术研究的任务书任务书一、课题名称：氮化镓光电化学刻蚀技术研究二、研究背景及研究意义随着微纳电子技术的飞速发展，对光电子器件尺寸和性能的要求越来越高。氮化镓是一种具有较高载流子迁移率