聚焦离子束加工技术及其应用

聚焦离子束加工技术及其应用 摘要:。聚焦离子束(FIB)技术是把离子束斑聚焦到亚微米甚至纳米级尺寸,通过偏转系统实现微细束 加工的新技术。文章简述了聚焦离子束工作原理和应用前景等。 关键词:聚焦离子束