[精选]01190660_薄膜材料与技术_09级_第5章_薄膜表征

- 薄膜厚度及沉积率表征方法的主要分类：5.1.1 气相原子密度法一、测量原理 (如右图所示，与电离真空计类似)：1、气相原子进入探头  灯丝热电子轰击  电离；2、电场作用下