磁控溅射制备超薄TiN薄膜电极的任务书

磁控溅射制备超薄TiN薄膜电极的任务书任务书1. 任务背景随着信息时代的到来，新型电子设备开始得到越来越多的应用。其中，超薄电极的制备技术是相关领域内的核心技术之一。超薄电极因其极低的电阻、高的光透过