引线键合高频超声换能器设计和键合头运动控制研究

中文摘要 旨在提高引线键合设备的速度、封装质量和超声能量的转化效率，本文针对 引线键合用高频超声换能器设计方法和实验测试作了详尽研究，同时探讨了键合 头运动控制系统的搭建和调试。全文工作和取得的成果如