等离子体加工过程中尘埃微粒行为与研究

第27卷 第1期1997年2月25日力 学 进 展ADVAN CES IN M ECHAN ICSV o l. 27Feb. 25,N o. 11997等离子体加工过程中尘埃微粒行为的研究顾 琅中国科