基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算

基于三元镶嵌靶的反应溅射沉积涂层成分模拟计算反应溅射沉积涂层技术作为一种高质量、高性能的表面处理技术，越来越受到工业界的关注和应用。该技术的核心是利用高能量离子的撞击作用，将靶材料粒子溅射到基板上，形