用于MEMS器件低压封装的单金属丝压力测试技术

用于MEMS器件低压封装的单金属丝压力测试技术摘要针对MEMS器件低压封装领域的压力测试需求，本文提出了一种单金属丝压力测试技术。使用大直径、高空隙率的金属线，可有效避免电路短路问题，并实现精准的压力