二氧化硅薄膜材料制备技术bo

- 二氧化硅薄膜材料的制备 - 二氧化硅(Si02)具有硬度高、耐磨性好、绝热性好、光透过率高、抗侵蚀能力强以及良好的介电性质。 通过对各种制备方法、制备工艺的开发