高性能MEMS热膜式气体流量传感器设计的开题报告

高性能MEMS热膜式气体流量传感器设计的开题报告一、选题背景MEMS（微电子机械系统）技术是集微电子技术、计算机技术、材料科学、微机械工程、光学技术、传感器技术等多种学科大力度融合而成的一种先进技术。