实验4磁控溅射法制备薄膜材料

实验4 磁控溅射法制备薄膜材料实验目的1. 掌握真空的获得2. 掌握磁控溅射法的基本原理与使用方法 3. 掌握利用磁控溅射法制备薄膜材料的方法 二、实验原理 磁控溅射属于辉光放电范畴，利用阴极