基于Ge-Sb-Se薄膜的硫系光波导制备工艺研究

基于Ge-Sb-Se薄膜的硫系光波导制备工艺研究基于Ge-Sb-Se薄膜的硫系光波导制备工艺研究摘要：硫系光波导作为一种具有良好的光学性能和潜在应用的材料，受到了广泛关注。本研究以Ge-Sb-Se薄膜