21世纪的硅微电子学

21世纪的硅微电子学　　作者简介 王阳元，1935年生，微电子学家。浙江宁波人。1958年北京大学物理系毕业。北京大学微电子学研究所教授。中国科学院院士。　　摘　要　本文展望了21世纪微电子技术的发展