基于任意步长相移干涉的MEMS表面形貌测量技术研究

基于任意步长相移干涉的MEMS表面形貌测量技术研究摘要：MEMS干涉测量技术作为一种高精度、非接触、高稳定的测量方法，在导航、制造、仪表和医疗设备等领域得到了广泛应用。其中，基于任意步长相移干涉可以大