化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用的综述报告

化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用的综述报告化学增幅光刻胶是一种高分辨率光刻胶，能够在纳米和亚纳米级别上进行制造和加工。由于其高分辨率和高灵敏度，化学增幅光刻胶已经成为电子束光刻中的常见选择。本文