砷化镓表面摩擦诱导结合H2SO4溶液选择性刻蚀的微纳加工研究的开题报告

砷化镓表面摩擦诱导结合H2SO4溶液选择性刻蚀的微纳加工研究的开题报告1. 研究背景及意义微纳加工技术是目前工业界、学术界共同关注的领域。随着电子信息技术的发展，利用微纳加工技术制备微纳电子元器件是目