微机电系统(MEMS)技术的研究与应用

科技导报4/ 2004高技术HIGH - TECHNOLO GY微机电系统 ( MEMS) 技术的研究与应用高世桥 1 曲大成 2( 北京理工大学机电工程学院 , 博士 、教授 、博士生导师 1 ;