射频磁控溅射法制备薄膜电池电极的计算机模拟初步

射频磁控溅射法制备薄膜电池电极的计算机模拟初步第 19 卷 第 3 期 大 学 物 理 实 验 Vol . 19 No . 3 2006 年 9 月出版 PHYSICAL EXPERIMENT OF