半导体工艺图形曝光与光刻PPT

- 图形曝光与刻蚀 - 图形曝光（lithography）是利用掩模版（mask）上的几何图形，通过光化学反应，将图案转移到覆盖在半导体晶片上的感光薄膜层上（光致抗蚀剂、光刻胶、