微感应耦合等离子体源生长碳膜及其结构研究的综述报告

微感应耦合等离子体源生长碳膜及其结构研究的综述报告引言在现代电子技术应用中，薄膜逐渐成为了一种重要的材料形态。其中，碳膜因其韧性、硬度、化学稳定性、导电性等优良性质而备受关注。传统的碳膜制备方法主要有