高功率脉冲磁控溅射峰值功率对纯铬及氮化铬薄膜力学性能的影响的任务书

高功率脉冲磁控溅射峰值功率对纯铬及氮化铬薄膜力学性能的影响的任务书一、任务背景薄膜技术在工业生产中得到了广泛应用，其应用范围涵盖了从微型电子设备到大型建筑物的各种领域。其中，溅射技术是常用的制备薄膜的